净化车间生产用水的供水管道应采用不易生锈的管道，供水方向应逆转加工方向，即从清洁区域流向非清洁区域。净化车间的供水管道应尽可能统一，冷水管道应避免通过控制台上方，以避免冷凝水凝结并滴落在产品上。

为了防止水管外的不干净水被虹吸并流回管道，须在水管的适当位置安装真空消除器。净化车间的排水沟应采用表面光滑、不渗水的材料铺设。施工过程中不得出现不均匀和裂缝，并形成3%的倾斜度，以确保车间排水顺畅。排水方向也从清洁区域排放到非清洁区域。活动蓖麻应由排水沟上的非生锈材料制成。车间排水地漏应采取措施防止固体进入。排水沟出口应设置防鼠网罩，净化车间地漏或排水沟出口应采用U型或P型，S有存水弯的水封，以防虫臭。