净化车间各级空气清洁度的空气净化处理应采用初效、中效、效率高的空气过滤器三级过滤。一万级空气净化处理，可采用亚效率高的空气过滤器代替效率高的空气过滤器。

空气过滤器的选择和安装方法应符合：初级空气过滤器不应选择油浸式过滤器；中级空气过滤器应设置在净化空气调节系统的正压段；效率高的空气过滤器或亚效率高的空气过滤器应设置在净化空气调节系统的末端，效率高的空气过滤装置方法应简单可靠，泄漏检查和更换；中效、亚效率高的、效率高的空气过滤器应按额定风量选择；阻力和效率相近的效率高的效空气过滤器应设置在同一净化车间。

在确定集合或松散的净化空调系统时，应综合考虑生产工艺的特点和净化车间空气的清洁度等级、面积、方向等因素。在连续生产工艺、洁净室或净化车间面积大的洁净室中，应采用对方向、噪声控制和振动控制要求严格的洁净室。

净化空调系统需要电加热时，应选择管状电加热器，方向应放置在效率高的空气过滤器的上风侧，并采取防火安全措施。

送风机可根据净化空调系统的总送风量和总阻力值进行选择。效率高的空气过滤器的阻力应按其初始阻力的两倍计算。

除直流系统和值班风机系统外，净化车间的净化空气调节系统应采用防止室外污染空气通过新鲜空气出口进入净化车间的防灌装方法。

净化车间空调系统的设计应合理使用回风。如果工艺过程中发生大量有害物质，部分处理不能满足卫生要求，或对其他工艺有害，则不应使用回风。